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德國海德漢HEIDENHAIN絕對(duì)式直線光柵尺 海德漢LIC 4100 V系列是一款專為高真空環(huán)境設(shè)計(jì)的絕對(duì)式直線光柵尺，可在需要真空條件的高科技領(lǐng)域中提供精確的直線位置測(cè)量反饋 。該系列光柵尺采用無接觸光學(xué)測(cè)量原理，能夠在設(shè)備開機(jī)瞬間輸出準(zhǔn)確的位置，特別適合半導(dǎo)體制造、電子器件生產(chǎn)、薄膜工藝、材料研究、生物技術(shù)和醫(yī)療設(shè)備等要求嚴(yán)苛真空環(huán)境的場(chǎng)合 。
更新日期：2025-09-02
型號(hào)：LIC 4100 V系列
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